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真空镀膜掉膜的原因有很多,比如产品表面清洁度不够,清洗过程中存在问题,工艺的问题,靶材的问题,真空腔是否漏气,产品表面氧化等。为了解决这些问题,你需要对产品表面进行离子源清洗,确保清洗到位,更换清洗液时避免化学反应残留,检查靶材是否中毒,进行真空腔漏气检查,根据实际情况处理产品表面氧化等问题。这些步骤完成后,应该能够有效地解决真空镀膜掉膜的问题。
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